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晶圓級(jí)電性參數(shù)測(cè)試設(shè)備
為研發(fā)、量產(chǎn)和可靠性測(cè)試提供高效和精確的電性參數(shù)測(cè)試

晶圓級(jí)電性參數(shù)測(cè)試設(shè)備

在集成電路的產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、工藝制造和產(chǎn)品驗(yàn)證過(guò)程中,對(duì)電性參數(shù)測(cè)試的需求日益提高, Semitronix 廣立微經(jīng)過(guò)十余年,自主研發(fā)高效電性參數(shù)測(cè)試設(shè)備和解決方案,已成功進(jìn)入多家內(nèi)外領(lǐng)先的芯片設(shè)計(jì)類(lèi)(Fabless)企業(yè)、代工制造類(lèi) (Foundry)企業(yè)、垂直整合制造類(lèi)(IDM)企業(yè)和研發(fā)實(shí)驗(yàn)室(R&D Lab),協(xié)助完成多種測(cè)試任務(wù),并且高效、精確地提取器件和工藝相關(guān)的電性參數(shù),實(shí)現(xiàn)以數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)芯片產(chǎn)品的功耗-性能-面積-成本(PPAC) 優(yōu)化、可靠性以及成品率提升。
目前,Semitronix廣立微現(xiàn)有的測(cè)試應(yīng)用場(chǎng)景包括:高并行 R&D測(cè)試、高效WAT 量產(chǎn)測(cè)試,以及可靠性 WLR 測(cè)試,在未來(lái)將逐步增加測(cè)試設(shè)備種類(lèi),拓展到其他測(cè)試應(yīng)用場(chǎng)景。

技術(shù)優(yōu)勢(shì)

設(shè)備測(cè)試性能
● 電流:測(cè)試精度0.1pA以下,最小分辨率0.1fA,最大范圍1A
● 電壓:測(cè)試精度0.1mV以下,最小分辨率0.1 μV,最大范圍200V
● 電容:測(cè)試精度0.01pF,最大范圍100nF, 支持C-V掃描
● 高效的測(cè)試產(chǎn)能(Throughput): 1.4X-5X
● 支持超并行測(cè)試能力,提高測(cè)試效率
測(cè)試軟件
● Algorithm Builder: 基于TCL語(yǔ)言的算法編輯
● Test Plan Editor: 根據(jù)測(cè)試需求,簡(jiǎn)便地做出test plan
● Framework: 強(qiáng)大的測(cè)試結(jié)果預(yù)警和處理機(jī)制
● Low Yield Management System 良率管理系統(tǒng)(LYM)
● 支持可靠性Wafer Level Reliability (WLR) 測(cè)試,擴(kuò)展測(cè)試機(jī)通用性
工廠自動(dòng)化
● 支持與各類(lèi)Prober(TEL/TSK/Sidea/Semishare…)集成
● 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn),實(shí)現(xiàn)EAP GEM 300標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)化測(cè)試流程
● 支持E5 E30 E37 E39 E40 E87 E90 E94 E84 等協(xié)議
主要特點(diǎn)
  • 為客戶(hù)在程序控制過(guò)程中提供準(zhǔn)確且高度自動(dòng)化的測(cè)試解決方案
  • 提供兩種操作方式:在線測(cè)試、離線測(cè)試
  • 根據(jù)前期測(cè)試結(jié)果能夠讓工程師靈活地改變測(cè)試計(jì)劃的細(xì)節(jié)
  • 方便地控制晶圓探針臺(tái)并制定測(cè)試框架的執(zhí)行流程
  • 涵蓋所有WAT測(cè)量項(xiàng)目:MOSFETs (Id, Vt, Ioff…), BJT, diode (breakdown), resistors, capacitors, etc.
  • 自主研發(fā)高性能硬件配置方案和電路結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),快速的并行測(cè)試技術(shù)平衡優(yōu)化了測(cè)試速度及精度,連續(xù)采樣率高達(dá)1.8M samples / 秒

基本配置

  • T4000系列

    通用型WAT測(cè)試設(shè)備
    使用于大部份WAT電性測(cè)試場(chǎng)景

  • T4100S系列

    并行測(cè)試設(shè)備
    大幅提升測(cè)試效率
    可滿(mǎn)足先進(jìn)工藝中繁雜多樣的測(cè)試要求

  • T4100S系列-copy-1678252710

    并行測(cè)試設(shè)備
    大幅提升測(cè)試效率
    可滿(mǎn)足先進(jìn)工藝中繁雜多樣的測(cè)試要求

Tester T4000系列 T4100S系列 T4100S系列-copy-1678252710
#of PINs 24 to 28 22to 28 22to 28
#of SMUs 6 to 12 (shared SMU) 22 to 48 (per pin) 22 to 48 (per pin)
#of LCR 1 1 to 2 1 to 2
#of PGU 2 2 2
Parallel testing support Yes Yes Yes
Throughput(WPH) ~1.3x-2x ~1.5x-5x ~1.5x-5x