概述
DATAEXP-SPC(簡稱DE-SPC)是監(jiān)控和改善半導體制造過程的關鍵工具。通過收集Inline、Defect、WAT等數(shù)據(jù)，并對參數(shù)配置各類圖形和規(guī)則，幫助客戶實時監(jiān)測生產(chǎn)過程的異常和穩(wěn)定性。DE-SPC支持多樣化數(shù)據(jù)采集、批量模型配置、多維度報表分析，構造了高效的全閉環(huán)品質(zhì)管理系統(tǒng)。
DE-SPC
統(tǒng)計過程控制系統(tǒng)
優(yōu)勢
- 全面的過程控制與分析系統(tǒng)。支持Metrology、Defect、WAT數(shù)據(jù)，可任意切換數(shù)據(jù)源進行分析
- 分布式的系統(tǒng)結構。系統(tǒng)優(yōu)化升級不影響生產(chǎn)，易于用戶維護和使用
- 靈活的SPC規(guī)則創(chuàng)建。支持用戶自定義腳本創(chuàng)建SPC規(guī)則
- 豐富的行業(yè)數(shù)據(jù)分析經(jīng)驗。深究SPC與其他Fab數(shù)據(jù)的關聯(lián)性，幫助用戶提升生產(chǎn)效率和穩(wěn)定性
- 高效的虛擬量測應用。利用機器學習預測量測數(shù)據(jù)
- 完整、強大的開發(fā)和運維團隊，給客戶最好的使用體驗
主要功能
DC Config
? SPC Rule Definition
? Matching Key Template
? Wafer Map Configuration
? Site Map Configuration
? Parameter Spec Template
? Matching Key Template
? Wafer Map Configuration
? Site Map Configuration
? Parameter Spec Template
Strategy Builder
? Batch Strategy Build
? Virtual Parameter
? Custom Chart
? Rule Criteria
? Alarm Notification
? Hold Action
? Virtual Parameter
? Custom Chart
? Rule Criteria
? Alarm Notification
? Hold Action
Data Analyzer
? Offline Rule Check
? Chart Statistics
? Chart Annotation
? Chart Histogram
? Rule Trigger Summary
? Chart Cpk Summary
? Lot Judgement History
? Chart Statistics
? Chart Annotation
? Chart Histogram
? Rule Trigger Summary
? Chart Cpk Summary
? Lot Judgement History
Alarm Viewer
? Alarm Chart Trend
? Alarm Lot Trend
? Cpk PassRatio Trend
? Summary Auto Report
? Alarm Lot Trend
? Cpk PassRatio Trend
? Summary Auto Report
